凈化型勻膠機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等，例如對大型晶圓、芯片、晶片等進(jìn)行工藝制版時，可用此設(shè)備進(jìn)行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠； 是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中涂覆勻膠的專用設(shè)備 。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺，可分別獨(dú)立工作，也可兩臺同時工作

凈化型勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	凈化旋涂儀帶加熱臺
產(chǎn)品型號	CY-SPC4-SS-JH
勻膠機(jī)	電源電壓	AC220V, 50Hz
	旋轉(zhuǎn)速度	0~9999rpm, adjustable
	加速度	100~5000rpm/s
	速度分辨率	1rpm
	時間分辨率	1s
	單步時間	3000s
	基片尺寸	直徑≤4英寸（100mm）
	腔體材質(zhì)	亞克力
	操作方式	按鍵+液晶屏
	點膠方式	手動點膠，可選精密注射泵
	勻膠曲線	每條曲線5段，共可存儲5條曲線
	抽氣口	φ6mm快擰接口
	真空吸盤	直徑10mm, 25mm, 55mm
	整體尺寸	210mm×250mm×180mm
加熱板	加熱板尺寸	150*150mm
	加熱溫度	RT~300C
	溫度分辨率	0.1C
	控溫精度	±1C
	溫度均勻性	<±2C
	電源	AC220V, 50Hz
凈化柜	尺寸	800*680*1700mm
	內(nèi)部布局	內(nèi)部左側(cè)放4英寸亞克力腔體勻膠機(jī)，右側(cè)放加熱板
	凈化等級	美國標(biāo)準(zhǔn)100%
	照明	內(nèi)置LED照明燈
排氣系統(tǒng)	真空泵	干式機(jī)械泵
	抽氣速率	50L/min
	電源	AC220V, 60Hz